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薄膜太陽能電池設(shè)備的設(shè)計(jì)步驟

發(fā)布時(shí)間:2021.07.30 新聞來源:江蘇浩元?jiǎng)恿萍加邢薰?鎮(zhèn)江無線電專用設(shè)備廠有限公司,鎮(zhèn)江市美華機(jī)電產(chǎn)品有限公司 瀏覽次數(shù):
    薄膜太陽能電池設(shè)備設(shè)計(jì)準(zhǔn)則,包括以下步驟:對具有導(dǎo)電層的基板進(jìn)行一激光制程,以形成圖案化導(dǎo)電層,圖案化導(dǎo)電層暴露出部分基板;測量圖案化導(dǎo)電層電性;沉積半導(dǎo)體材料層于基板上并覆蓋圖案化導(dǎo)電層,沉積半導(dǎo)體材料層的方法采用不含四氫化硅(SiH4)的設(shè)備;對半導(dǎo)體材料層進(jìn)行二激光制程,以形成圖案化半導(dǎo)體層,圖案化導(dǎo)電層暴露出部分圖案化導(dǎo)電層;形成另一導(dǎo)電層于基板上并覆蓋圖案化半導(dǎo)體層;對另一導(dǎo)電層及其覆蓋的圖案化半導(dǎo)體層進(jìn)行第三激光制程,以形成暴露出部分圖案化導(dǎo)電層的另一圖案化導(dǎo)電層。本發(fā)明可在低成本的情況下制作出薄膜太陽能電池,并可有效避免公共危險(xiǎn)。
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